Transport and surface phenomena for silicon epitaxial growth

• Material Type: 博士論文
• Title: Transport and surface phenomena for silicon epitaxial growth
• Author/Editor: 羽深等 [著]
• Author Heading: 羽深, 等 ハブカ, ヒトシ
• Alternative Title: シリコンエピタキシャル成長に関わる輸送現象と表面化学反応 シリコン エピタキシャル セイチョウ ニ カカワル ユソウ ゲンショウ ト ヒョウメン カガク ハンノウ
• Degree grantor/type: 広島大学
• Date Granted: 平成8年9月12日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 乙第2880号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-97-X448
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000316638; http://id.ndl.go.jp/bib/000000316638
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

Abstract

CONTENTS

Chapter1 Introduction

1.1 Background