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博士論文

誘導コイル結合型高周波放電を利用した金属イオンの発生とその応用

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誘導コイル結合型高周波放電を利用した金属イオンの発生とその応用

Call No. (NDL)
UT51-97-Y43
Bibliographic ID of National Diet Library
000000316762
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3131572
Material type
博士論文
Author
山下睦雄 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
京都大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 論文目録

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1･1 本研究の背景

    p1

  • 1･2 本研究の目的と方法

    p4

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
誘導コイル結合型高周波放電を利用した金属イオンの発生とその応用
Title Transcription
ユウドウ コイル ケツゴウガタ コウシュウハ ホウデン オ リヨウシタ キンゾク イオン ノ ハッセイ ト ソノ オウヨウ
Author/Editor
山下睦雄 [著]
Author Heading
山下, 睦雄 ヤマシタ, ムツオ
Degree grantor/type
京都大学
Date Granted
平成9年11月25日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
乙第9715号
Degree Type
博士 (工学)