LSI加工用短波長高感度レジストに関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 緒論
p1
1.1 超LSIと微細加工技術
p1
1.2 レジストの化学
p3
1.3 本論文の目的と構成
p10
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- LSI カコウヨウ タンハチョウ コウカンド レジスト ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 田中啓順 [著]
- Author Heading
- 田中, 啓順 タナカ, アキノブ
- Degree grantor/type
- 東海大学
- Date Granted
- 平成9年9月22日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第311号
- Degree Type
- 博士 (工学)