Al[2]O[3]/Si構造形成における成長材料の励起及び界面制御に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: Al[2]O[3]/Si構造形成における成長材料の励起及び界面制御に関する研究
• Title Transcription: Al2O3/Si コウゾウ ケイセイ ニ オケル セイチョウ ザイリョウ ノ レイキ オヨビ カイメン セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 葉山清輝 [著]
• Author Heading: 葉山, 清輝 ハヤマ, キヨテル
• Degree grantor/type: 豊橋技術科学大学
• Date Granted: 平成9年12月17日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第102号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-A141
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000317301; http://id.ndl.go.jp/bib/000000317301
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文要旨

目次

第1章 序論

1-1 SOI構造の特徴と形成技術

1-2 エピタキシャルAl₂O₃薄膜を用いたSOI構造の形成