シリコン基板表面処理によるCVD酸化膜界面および有機結晶性薄膜の構造制御
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Table of Contents
目次
p3
第1章.序章
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 本研究の目的
p3
参考文献
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン キバン ヒョウメン ショリ ニ ヨル CVD サンカマク カイメン オヨビ ユウキ ケッショウセイ ハクマク ノ コウゾウ セイギョ
- Author/Editor
- 中村雅一 [著]
- Author Heading
- 中村, 雅一 ナカムラ, マサカズ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成9年9月12日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第7307号
- Degree Type
- 博士 (工学)