シリコン基板表面処理によるCVD酸化膜界面および有機結晶性薄膜の構造制御

• Material Type: 博士論文
• Title: シリコン基板表面処理によるCVD酸化膜界面および有機結晶性薄膜の構造制御
• Title Transcription: シリコン キバン ヒョウメン ショリ ニ ヨル CVD サンカマク カイメン オヨビ ユウキ ケッショウセイ ハクマク ノ コウゾウ セイギョ
• Author/Editor: 中村雅一 [著]
• Author Heading: 中村, 雅一 ナカムラ, マサカズ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成9年9月12日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第7307号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-B70
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000317769; http://id.ndl.go.jp/bib/000000317769
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章.序章

1.1 本研究の背景

1.2 本研究の目的

参考文献