Functional thin film deposition by atmospheric pressure cold plasma

• Material Type: 博士論文
• Title: Functional thin film deposition by atmospheric pressure cold plasma
• Author/Editor: 河賢権 [著]
• Author Heading: 河, 賢権 ハー, ヒョンクン
• Alternative Title: 大気圧低温プラズマによる機能性薄膜の堆積に関する研究 タイキアツ テイオン プラズマ ニ ヨル キノウセイ ハクマク ノ タイセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成8年9月30日
• Date Granted (W3CDTF): 1996
• Dissertation Number: 甲第3361号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-B178
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000317877; http://id.ndl.go.jp/bib/000000317877
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

Contents

Chapter1.General Introduction

1-1 Plasma

1-2 The Nature of Plasma