オージェ電子分光分析装置内に構築した計測システムによる金とシリコン間の固体間凝着現象の検討

• Material Type: 博士論文
• Title: オージェ電子分光分析装置内に構築した計測システムによる金とシリコン間の固体間凝着現象の検討
• Title Transcription: オージェ デンシ ブンコウ ブンセキ ソウチナイ ニ コウチク シタ ケイソク システム ニ ヨル キン ト シリコンカン ノ コタイカン ギョウチャク ゲンショウ ノ ケントウ
• Author/Editor: 水野亮二 [著]
• Author Heading: 水野, 亮二 ミズノ, リョウジ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成9年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 甲第3435号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-B252
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000317951; http://id.ndl.go.jp/bib/000000317951
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 緒論

1.1 研究の背景

1.2 固体間凝着現象に関する研究の現状と問題点