水素化アモルファスシリコンのプラズマ堆積における表面過程の量子化学的研究
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Table of Contents
論文目録
要旨
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スイソカ アモルファス シリコン ノ プラズマ タイセキ ニ オケル ヒョウメン カテイ ノ リョウシ カガクテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 中嶌健司 [著]
- Author Heading
- 中嶌, 健司 ナカジマ, ケンジ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成9年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 甲第3534号
- Degree Type
- 博士 (理学)