シリコン中の重金属によるMOS型素子の特性劣化とその改善
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Table of Contents
論文目録
目次
p1
第一章 序論
p1
1.1.緒言
p1
1.2.高集積化･微細化に伴って酸化膜に要請される技術課題
p2
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコンチュウ ノ ジュウキンゾク ニ ヨル MOSガタ ソシ ノ トクセイ レッカ ト ソノ カイゼン
- Author/Editor
- 本田耕一郎 [著]
- Author Heading
- 本田, 耕一郎 ホンダ, コウイチロウ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成8年5月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1996
- Dissertation Number
- 乙第2909号
- Degree Type
- 博士 (工学)