博士論文
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集積回路用微細アルミニウム配線の高信頼化に関する研究

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集積回路用微細アルミニウム配線の高信頼化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-98-B482
Bibliographic ID of National Diet Library
000000318181
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3132992
Material type
博士論文
Author
鈇田博 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京工業大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 論文目録

  • 目次

    p1

  • 第1章 「序論」

    p1

  • 1.1 序

    p1

  • 1.2 本研究の背景

    p2

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
シュウセキ カイロヨウ ビサイ アルミニウム ハイセン ノ コウシンライカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
鈇田博 [著]
Author Heading
鈇田, 博 オノダ, ヒロシ
Degree grantor/type
東京工業大学
Date Granted
平成9年1月31日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
乙第2997号
Degree Type
博士 (工学)