改良Lely法によるSiC単結晶育成と結晶性評価の研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
第1節
p1
第2節 SiC半導体
p2
1.2.1.SiC半導体の電気特性とデバイス応用
p2
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- カイリョウ Lelyホウ ニ ヨル SiC タンケッショウ イクセイ ト ケッショウセイ ヒョウカ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 高橋淳 [著]
- Author Heading
- 高橋, 淳 タカハシ, ジュン
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成9年6月11日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 乙第7243号
- Degree Type
- 博士 (工学)