博士論文

集積回路製造プロセスにおけるシリコン表面のドライ洗浄技術の研究

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集積回路製造プロセスにおけるシリコン表面のドライ洗浄技術の研究

Call No. (NDL)
UT51-98-C203
Bibliographic ID of National Diet Library
000000318431
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3133244
Material type
博士論文
Author
菊地純 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
京都大学,博士 (工学)
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Table of Contents

  • 論文目録

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p4

  • 1.1 はじめに

    p4

  • 1.2 シリコン表面の酸化物洗浄技術

    p6

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
集積回路製造プロセスにおけるシリコン表面のドライ洗浄技術の研究
Title Transcription
シュウセキ カイロ セイゾウ プロセス ニ オケル シリコン ヒョウメン ノ ドライ センジョウ ギジュツ ノ ケンキュウ
Author/Editor
菊地純 [著]
Author Heading
菊地, 純 キクチ, ジュン
Degree grantor/type
京都大学
Date Granted
平成10年1月23日
Date Granted (W3CDTF)
1998
Dissertation Number
乙第9749号
Degree Type
博士 (工学)