摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小除去加工装置の開発研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小除去加工装置の開発研究
• Title Transcription: マサツリョク ケンビキョウ キコウ オ モチイタ ゴクビショウ ジョキョ カコウ ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
• Author/Editor: 芦田極 [著]
• Author Heading: 芦田, 極 アシダ, キワム
• Degree grantor/type: 千葉大学
• Date Granted: 平成10年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 甲第1514号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-H215
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000321185; http://id.ndl.go.jp/bib/000000321185
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒論

1.1 本研究の背景

1.2 本研究の目的

1.3 本研究の内容