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博士論文

Si表面上のⅣ族半導体薄膜成長に及ぼす水素の効果に関する研究

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Si表面上のⅣ族半導体薄膜成長に及ぼす水素の効果に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-98-L407
Bibliographic ID of National Diet Library
000000323022
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3137832
Material type
博士論文
Author
岡田昌久 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
名古屋大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景

    p1

  • 1.2 本研究の目的

    p4

  • 1.3 本論文の概要

    p5

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
Si表面上のⅣ族半導体薄膜成長に及ぼす水素の効果に関する研究
Title Transcription
Si ヒョウメンジョウ ノ 4ゾク ハンドウタイ ハクマク セイチョウ ニ オヨボス スイソ ノ コウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
岡田昌久 [著]
Author Heading
岡田, 昌久 オカダ, マサヒサ
Degree grantor/type
名古屋大学
Date Granted
平成10年3月25日
Date Granted (W3CDTF)
1998
Dissertation Number
甲第4046号
Degree Type
博士 (工学)