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博士論文

エキシマレーザーを用いた半導体および金属の表面処理技術に関する研究

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エキシマレーザーを用いた半導体および金属の表面処理技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-98-M120
Bibliographic ID of National Diet Library
000000323283
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3138091
Material type
博士論文
Author
十文字正之 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京電機大学,博士 (工学)
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博士論文

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  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 固体表面処理法

    p2

  • 1.2 エキシマレーザーによる表面処理法

    p5

  • 1.3 本研究の目的と意義

    p9

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
エキシマレーザーを用いた半導体および金属の表面処理技術に関する研究
Title Transcription
エキシマ レーザー オ モチイタ ハンドウタイ オヨビ キンゾク ノ ヒョウメン ショリ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
十文字正之 [著]
Author Heading
十文字, 正之 ジュウモンジ, マサユキ
Degree grantor/type
東京電機大学
Date Granted
平成10年3月19日
Date Granted (W3CDTF)
1998
Dissertation Number
甲第32号
Degree Type
博士 (工学)