走査型プローブ顕微鏡による薄膜表面の測定及び加工に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 走査型プローブ顕微鏡による薄膜表面の測定及び加工に関する研究
• Title Transcription: ソウサガタ プローブ ケンビキョウ ニ ヨル ハクマク ヒョウメン ノ ソクテイ オヨビ カコウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 岩田太 [著]
• Author Heading: 岩田, 太 イワタ, フトシ
• Degree Grantor: 静岡大学
• Date Granted: 平成9年6月22日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第85号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-N2
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000323715; http://id.ndl.go.jp/bib/000000323715
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 はじめに

1.2 走査型トンネル顕微鏡(STM)/原子間力顕微鏡(AFM)の原理

1.3 走査型プローブ顕微鏡(SPM)測定の問題と本研究の目的