スパッタリングにおける薄膜形成プロセスの高機能化
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Table of Contents
論文目録
目次
p1
1 序論
p4
1.1 本研究の背景
p4
1.2 真空中で形成される薄膜の構造
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スパッタリング ニ オケル ハクマク ケイセイ プロセス ノ コウキノウカ
- Author/Editor
- 原田寛 [著]
- Author Heading
- 原田, 寛 ハラダ, ヒロシ
- Degree grantor/type
- 山口大学
- Date Granted
- 平成9年7月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1997
- Dissertation Number
- 甲第103号
- Degree Type
- 博士 (工学)