選択加工修正レーザプロセス技術

• Material Type: 博士論文
• Title: 選択加工修正レーザプロセス技術
• Title Transcription: センタク カコウ シュウセイ レーザ プロセス ギジュツ
• Author/Editor: 関祐子 [著]
• Author Heading: 関, 祐子 セキ, ユウコ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成10年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 甲第6449号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-T289
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000326958; http://id.ndl.go.jp/bib/000000326958
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 レーザ利用プロセス技術の特徴

1.3 レーザ利用半導体デバイス修正技術の現状と将来像