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博士論文

炭素及びケイ素とその化合物の放射光励起エッチング反応の研究

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炭素及びケイ素とその化合物の放射光励起エッチング反応の研究

Call No. (NDL)
UT51-98-V133
Bibliographic ID of National Diet Library
000000327889
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3142699
Material type
博士論文
Author
大橋治彦 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
総合研究大学院大学,博士 (理学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • I はじめに

    p1

  • I.1 本研究の位置づけ

    p1

  • I.2 本論文の目的

    p4

  • II Si,SiO₂,SiCの放射光励起エッチング反応

    p5

  • II.1 序

    p5

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
炭素及びケイ素とその化合物の放射光励起エッチング反応の研究
Title Transcription
タンソ オヨビ ケイソ ト ソノ カゴウブツ ノ ホウシャコウ レイキ エッチング ハンノウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
大橋治彦 [著]
Author Heading
大橋, 治彦 オオハシ, ハルヒコ
Degree grantor/type
総合研究大学院大学
Date Granted
平成8年9月30日
Date Granted (W3CDTF)
1996
Dissertation Number
乙第22号
Degree Type
博士 (理学)