イオンビームスパッタ法によるPb系強誘電体薄膜の形成およびその機能性デバイス応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: イオンビームスパッタ法によるPb系強誘電体薄膜の形成およびその機能性デバイス応用に関する研究
• Title Transcription: イオン ビーム スパッタホウ ニ ヨル Pbケイ キョウユウデンタイ ハクマク ノ ケイセイ オヨビ ソノ キノウセイ デバイス オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 神野伊策 [著]
• Author Heading: 神野, 伊策 カンノ, イサク
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成10年2月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 乙第7439号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-X503
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000329384; http://id.ndl.go.jp/bib/000000329384
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒論

1.1 本研究の背景

1.2 本研究の目的と意義

1.3 本研究の構成