化学増幅系ポジ型単層レジストの高解像度化に関する研究
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Table of Contents
目次
p3
第1章 序論
p1
1-1 半導体集積回路の微細化とリソグラフィ
p1
1-2 光リソグラフィの解像特性
p3
1-3 化学増幅系レジストの現状と問題点
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- カガク ゾウフクケイ ポジガタ タンソウ レジスト ノ コウカイゾウドカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 井谷俊郎 [著]
- Author Heading
- 井谷, 俊郎 イタニ, トシロウ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成10年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 乙第7483号
- Degree Type
- 博士 (工学)