熱酸化シリカ薄膜中の不純物の結合状態と拡散機構
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Table of Contents
論文目録
目次
p1
第1章 緒論
p1
1.1 工業的背景
p1
1.2 従来の研究
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ネツ サンカ シリカ ハクマクチュウ ノ フジュンブツ ノ ケツゴウ ジョウタイ ト カクサン キコウ
- Author/Editor
- 川岸京子 [著]
- Author Heading
- 川岸, 京子 カワギシ, キョウコ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成10年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 甲第3670号
- Degree Type
- 博士 (工学)