A study on atomic layer epitaxy of Ⅲ-Ⅴ-based semiconductors for microstructure formation

• Material Type: 博士論文
• Title: A study on atomic layer epitaxy of Ⅲ-Ⅴ-based semiconductors for microstructure formation
• Author/Editor: 廣瀬伸吾 [著]
• Author Heading: 廣瀬, 伸吾 ヒロセ, シンゴ
• Alternative Title: 微細構造形成のためのⅢ-Ⅴ族半導体原子層成長に関する研究 ビサイ コウゾウ ケイセイ ノ タメ ノ 3-5 ゾク ハンドウタイ ゲンシソウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成10年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 甲第3794号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-Y230
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000329729; http://id.ndl.go.jp/bib/000000329729
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

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Chapter1 Introduction

1.1 Background

1.2 Artificial Structure:Superlattice