A study on atomic layer epitaxy of Ⅲ-Ⅴ-based semiconductors for microstructure formation
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論文目録
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p1
Chapter1 Introduction
p1
1.1 Background
p1
1.2 Artificial Structure:Superlattice
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 廣瀬伸吾 [著]
- Author Heading
- 廣瀬, 伸吾 ヒロセ, シンゴ
- Alternative Title
- 微細構造形成のためのⅢ-Ⅴ族半導体原子層成長に関する研究 ビサイ コウゾウ ケイセイ ノ タメ ノ 3-5 ゾク ハンドウタイ ゲンシソウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成10年3月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 甲第3794号
- Degree Type
- 博士 (工学)