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博士論文

シリコン極微細素子における単一電子トラップと単一電子効果素子に関する研究

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シリコン極微細素子における単一電子トラップと単一電子効果素子に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-98-Y335
Bibliographic ID of National Diet Library
000000329834
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3144643
Material type
博士論文
Author
大畠昭子 [著]
Publisher
-
Date granted
平成9年5月31日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
東京工業大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 論文目録

  • 目次

    0-3

  • 1.序論

    1-1

  • 1.1 シリコン素子微細化の現状

    1-2

  • 1.2 本研究の目的

    1-4

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
シリコン極微細素子における単一電子トラップと単一電子効果素子に関する研究
Title Transcription
シリコン ゴクビサイ ソシ ニ オケル タンイツ デンシ トラップ ト タンイツ デンシ コウカ ソシ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
大畠昭子 [著]
Author Heading
大畠, 昭子 オオハタ, アキコ
Degree Grantor
東京工業大学
Date Granted
平成9年5月31日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
乙第3054号
Degree Type
博士 (工学)