容量結合型高周波酸素放電プラズマのモデリング : 放電機構とパルス変調プラズマの研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 容量結合型高周波酸素放電プラズマのモデリング : 放電機構とパルス変調プラズマの研究
• Title Transcription: ヨウリョウ ケツゴウガタ コウシュウハ サンソ ホウデン プラズマ ノ モデリング : ホウデン キコウ ト パルス ヘンチョウ プラズマ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 柴田真理 [著]
• Author Heading: 柴田, 真理 シバタ, マリ
• Degree grantor/type: 慶應義塾大学
• Date Granted: 平成10年9月17日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 乙第3218号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-98-Z466
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000330550; http://id.ndl.go.jp/bib/000000330550
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

1 序論

1.1 半導体製造工程におけるプラズマ応用の現状

1.2 これまでの酸素プラズマ研究