原子/分子モデルによる微細加工機構の解明と工具材料物性評価に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
緒論
p1
第1章 AFMを用いた微細加工技術の現状と課題
p3
参考文献
p9
第2章 微細加工機構解明への計算材料科学の適用
p12
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ゲンシ ブンシ モデル ニ ヨル ビサイ カコウ キコウ ノ カイメイ ト コウグ ザイリョウ ブッセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 磯野吉正 [著]
- Author Heading
- 磯野, 吉正 イソノ, ヨシタダ
- Degree grantor/type
- 立命館大学
- Date Granted
- 平成10年10月3日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 乙第229号
- Degree Type
- 博士 (工学)