Gas cluster ion-solid surface in teraction and thin film formation

• Material Type: 博士論文
• Title: Gas cluster ion-solid surface in teraction and thin film formation
• Author/Editor: 秋月誠 [著]
• Author Heading: 秋月, 誠 アキズキ, マコト
• Alternative Title: ガスクライスターイオンと固体表面の相互作用及び薄膜形成に関する研究 ガス クライスター イオン ト コタイ ヒョウメン ノ ソウゴ サヨウ オヨビ ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成11年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 甲第7811号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-G405
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000334686; http://id.ndl.go.jp/bib/000000334686
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

Contents

1 Introduction

1.1 Ion beam processing

1.2 Advantages of the gas cluster ion beam technique