Nano-processing with gas cluster ion beams

• Material Type: 博士論文
• Title: Nano-processing with gas cluster ion beams
• Author/Editor: 豊田紀章 [著]
• Author Heading: 豊田, 紀章 トヨダ, ノリアキ
• Alternative Title: ガスクラスターイオンによるナノ構造形成プロセスの研究 ガス クラスター イオン ニ ヨル ナノ コウゾウ ケイセイ プロセス ノ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成11年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 甲第7843号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-G437
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000334718; http://id.ndl.go.jp/bib/000000334718
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

Abstract

Contents

1 Introduction

1.1 What is a Cluster?