A study on the silicon accelerometer with wide dynamic range

• Material Type: 博士論文
• Title: A study on the silicon accelerometer with wide dynamic range
• Author/Editor: 高相春 [著]
• Author Heading: 高, 相春 コ, サンチュン
• Alternative Title: 広ダイナミックレジンのシリコン加速度センサに関する研究 コウダイナミック レジン ノ シリコン カソクド センサ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成11年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 甲第6865号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Alias of Author: Ko, Sang Choon
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-H288
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000335198; http://id.ndl.go.jp/bib/000000335198
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Table of contents

1.Introduction

1.1 Micromachining

1.2 Accelerometers

1.3 Motivation and Background