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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 固体電子工学の発展
p1
1.2 結晶成長の低温化と低エネルギイオン照射プロセス
p2
1.3 インライン欠陥検査を用いた歩留り管理
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- テイエネルギ イオン ショウシャ オ モチイタ テイオン シリコン ハクマク ケイセイ プロセス ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 進藤亘 [著]
- Author Heading
- 進藤, 亘 シンドウ, ワタル
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成11年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 甲第6907号
- Degree Type
- 博士(工学)