走査型容量顕微鏡の開発と半導体ナノスケール評価への応用
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 はじめに
p1
1.2 走査型プローブ顕微鏡
p4
1.3 背景
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ソウサガタ ヨウリョウ ケンビキョウ ノ カイハツ ト ハンドウタイ ナノ スケール ヒョウカ エ ノ オウヨウ
- Author/Editor
- 富家英登 [著]
- Author Heading
- 富家, 英登 トミイエ, ヒデト
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成11年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 甲第6933号
- Degree Type
- 博士(工学)