博士論文
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Sub-0.1μmCMOSプロセス技術に関する研究

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Sub-0.1μmCMOSプロセス技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-99-H512
Bibliographic ID of National Diet Library
000000335422
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3150230
Material type
博士論文
Author
後藤賢一 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東北大学,博士(工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 論文内容要旨

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p3

  • 第2章 デカボランイオン注入法

    p6

  • 2.1 はじめに

    p6

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
Sub-0.1mm CMOS プロセス ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
後藤賢一 [著]
Author Heading
後藤, 賢一 ゴトウ, ケンイチ
Degree grantor/type
東北大学
Date Granted
平成10年7月8日
Date Granted (W3CDTF)
1998
Dissertation Number
乙第7512号
Degree Type
博士(工学)