Precise silicon micromachining for microsensors and microactuators

• Material Type: 博士論文
• Title: Precise silicon micromachining for microsensors and microactuators
• Author/Editor: 戸田理作 [著]
• Author Heading: 戸田, 理作 トダ, リサク
• Alternative Title: マイクロセンサ及びマイクロアクチュエータのための高精度シリコンマイクロマシニング マイクロセンサ オヨビ マイクロアクチュエータ ノ タメ ノ コウセイド シリコン マイクロマシニング
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成10年9月9日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 乙第7585号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-H585
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000335495; http://id.ndl.go.jp/bib/000000335495
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

List of Figures

List of Tables

1 Introduction

1.1 Overview of the dissertation