イオンビーム分析法によるNb/Cu多層膜の構造評価と多層膜中の水素分析に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: イオンビーム分析法によるNb/Cu多層膜の構造評価と多層膜中の水素分析に関する研究
• Title Transcription: イオン ビーム ブンセキホウ ニ ヨル Nb/Cu タソウマク ノ コウゾウ ヒョウカ ト タソウマクチュウ ノ スイソ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 山本春也 [著]
• Author Heading: 山本, 春也 ヤマモト, シュンヤ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成11年1月13日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 乙第7627号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-H627
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000335537; http://id.ndl.go.jp/bib/000000335537
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

発表論文リスト

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 従来の研究