超音速フリージェットによるシリコンカーバイド薄膜の形成に関する基礎的研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 研究の背景
p1
1.2 SiCの物理･化学的性質と結晶成長
p5
1.3 3C-SiC/Siヘテロ構造の性質と形成時の問題点
p13
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- チョウオンソク フリー ジェット ニ ヨル シリコン カーバイド ハクマク ノ ケイセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 生駒嘉史 [著]
- Author Heading
- 生駒, 嘉史 イコマ, ヨシフミ
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 平成11年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 甲第4712号
- Degree Type
- 博士(工学)