ラダー型アンテナ電極を用いた高周波プラズマの生成とその応用に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
記号の説明
p4
第1章 緒言
p1
第2章 走査型プラズマの生成と大面積a-Si製膜への応用
p11
2.1 序
p11
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ラダーガタ アンテナ デンキョク オ モチイタ コウシュウハ プラズマ ノ セイセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 村田正義 [著]
- Author Heading
- 村田, 正義 ムラタ, マサヨシ
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 平成11年2月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 乙第6822号
- Degree Type
- 博士(理学)