LCD用AI配線におけるウィスカーに関する透過電子顕微鏡的研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 緒言
p1
1.1 薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ
p1
1.2 薄膜トランジスタの断面構造
p1
1.3 Al配線材料の課題
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- LCDヨウ AI ハイセン ニ オケル ウィスカー ニ カンスル トウカ デンシ ケンビキョウテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 辻本勝浩 [著]
- Author Heading
- 辻本, 勝浩 ツジモト, カツヒロ
- Degree grantor/type
- 名古屋大学
- Date Granted
- 平成11年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 甲第4310号
- Degree Type
- 博士(工学)