反応性スパッタによるⅣa族窒化物薄膜の作製および物性評価
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Table of Contents
目次
p1
第一章 序論
p3
1.1 IVa族窒化物薄膜
p3
1 .2 IVa族窒化物薄膜の作製
p10
1.3 薄膜の性質
p16
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンノウセイ スパッタ ニ ヨル 4 aゾク チッカブツ ハクマク ノ サクセイ オヨビ ブッセイ ヒョウカ
- Author/Editor
- 安藤豊 [著]
- Author Heading
- 安藤, 豊 アンドウ, ユタカ
- Degree grantor/type
- 名古屋工業大学
- Date Granted
- 平成11年3月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 甲第264号
- Degree Type
- 博士(工学)