博士論文
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シリコン単結晶中の酸素濃度に与えるアルゴンガスの流れの影響に関する研究

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シリコン単結晶中の酸素濃度に与えるアルゴンガスの流れの影響に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-99-N676
Bibliographic ID of National Diet Library
000000338728
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3153537
Material type
博士論文
Author
町田倫久 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
信州大学,博士(工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 研究の背景

    p1

  • 1.2 本研究の目的

    p3

  • 1.3 本論文の構成

    p4

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Bibliographic Record

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
シリコン タンケッショウチュウ ノ サンソ ノウド ニ アタエル アルゴン ガス ノ ナガレ ノ エイキョウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
町田倫久 [著]
Author Heading
町田, 倫久 マチダ, ノリヒサ
Degree grantor/type
信州大学
Date Granted
平成11年3月20日
Date Granted (W3CDTF)
1999
Dissertation Number
甲第179号
Degree Type
博士(工学)