シリコン表面における原子ステップの挙動に関する研究
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン ヒョウメン ニ オケル ゲンシ ステップ ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 須藤孝一 [著]
- Author Heading
- 須藤, 孝一 スドウ, コウイチ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成11年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 甲第6874号
- Degree Type
- 博士 (工学)