マグネトロンプラズマを用いた水晶の高速均一エッチングに関する研究
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論文目録
目次
本論文で用いられた記号及び略語
p1
第1章 序論
p4
1.1.研究背景
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- マグネトロン プラズマ オ モチイタ スイショウ ノ コウソク キンイツ エッチング ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 山田浩 [著]
- Author Heading
- 山田, 浩 ヤマダ, ヒロシ
- Alternative Title
- Etching characteristics of crystals by magnetron plasmas
- Degree grantor/type
- 長崎大学
- Date Granted
- 平成11年3月31日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 博 (海) 甲第166号