Al予備堆積法の導入による薄膜ヘテロエピタキシャルSOI構造に関する研究
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Table of Contents
論文要旨
目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 SOI構造とその特徴
p1
1.2 SOI構造形成技術
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- Al ヨビ タイセキホウ ノ ドウニュウ ニ ヨル ハクマク ヘテロエピタキシャル SOI コウゾウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 鄭永哲 [著]
- Author Heading
- 鄭, 永哲 ジョン, ヨンチョル
- Degree grantor/type
- 豊橋技術科学大学
- Date Granted
- 平成11年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 甲第231号
- Degree Type
- 博士 (工学)