Effects of alloying elements on physical and chemical properties of aluminum alloy films and their practical application as electronic materials

• Material Type: 博士論文
• Title: Effects of alloying elements on physical and chemical properties of aluminum alloy films and their practical application as electronic materials
• Author/Editor: 大西隆 [著]
• Author Heading: 大西, 隆 オオニシ, タカシ
• Alternative Title: アルミニウム薄膜の物性に及ぼす合金元素添加効果と合金化による電子材料への応用に関する研究 アルミニウム ハクマク ノ ブッセイ ニ オヨボス ゴウキン ゲンソ テンカ コウカ ト ゴウキンカ ニ ヨル デンシ ザイリョウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree Grantor: 神戸大学
• Date Granted: 平成10年9月16日
• Date Granted (W3CDTF): 1998
• Dissertation Number: 乙第2261号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-S564
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000341602; http://id.ndl.go.jp/bib/000000341602
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

General Introduction

Chapter1 Hillock Formation Mechanism of Pure Al and Al Alloy Films

1.1 Introduction

1.2 Experimental