Oxide layer formation in Si substrates and on 6H-SiC(0001) by ion irradiation

• Material Type: 博士論文
• Title: Oxide layer formation in Si substrates and on 6H-SiC(0001) by ion irradiation
• Author/Editor: 米田知晃 [著]
• Author Heading: 米田, 知晃 ヨネダ, トモアキ
• Degree grantor/type: 立命館大学
• Date Granted: 平成11年7月2日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 乙第246号
• Degree Type: 博士 (理学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-T706
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000342536; http://id.ndl.go.jp/bib/000000342536
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Abstract

Contents

1 Introduction

References