クラスターイオンビーム法を用いたCuIn(S[x]Se[1-x])[2]化合物半導体の低温成膜に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: クラスターイオンビーム法を用いたCuIn(S[x]Se[1-x])[2]化合物半導体の低温成膜に関する研究
• Title Transcription: クラスター イオン ビームホウ オ モチイタ CuIn(SxSe1-x)2 カゴウブツ ハンドウタイ ノ テイオン セイマク ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 佐野寛幸 [著]
• Author Heading: 佐野, 寛幸 サノ, ヒロユキ
• Degree grantor/type: 東京農工大学
• Date Granted: 平成11年6月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1999
• Dissertation Number: 乙第48号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-T723
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000342553; http://id.ndl.go.jp/bib/000000342553
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 研究の背景

1.2 研究の目的

1.3 本論文の構成