交互スパッタ法によるナノ超微粒子分散薄膜作製プロセスに関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序章
p1
1-1 はじめに
p1
1-2 既往の研究
p2
1-3 本研究の位置づけ
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- コウゴ スパッタホウ ニ ヨル ナノ チョウビリュウシ ブンサン ハクマク サクセイ プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 平澤誠一 [著]
- Author Heading
- 平澤, 誠一 ヒラサワ, マコト
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成10年1月29日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1998
- Dissertation Number
- 甲第13076号
- Degree Type
- 博士 (工学)