イメージングプレートを利用したX線トポグラフィによるシリコン結晶格子歪みの精密解析技術の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: イメージングプレートを利用したX線トポグラフィによるシリコン結晶格子歪みの精密解析技術の研究
• Title Transcription: イメージング プレート オ リヨウ シタ Xセン トポグラフィ ニ ヨル シリコン ケッショウ コウシ ヒズミ ノ セイミツ カイセキ ギジュツ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 工藤喜弘 [著]
• Author Heading: 工藤, 喜弘 クドウ, ヨシヒロ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成9年9月18日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第13528号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-V213
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000343655; http://id.ndl.go.jp/bib/000000343655
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 本研究の背景

1.2 本研究の目的

第2章 平面波X線トポグラフィによる格子歪みの解析システムの構築