博士論文

ピエゾアクチュエータを用いたアクティブ微振動制御システムに関する研究

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ピエゾアクチュエータを用いたアクティブ微振動制御システムに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-99-V238
Bibliographic ID of National Diet Library
000000343680
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3158489
Material type
博士論文
Author
梶原浩一 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
東京大学,博士 (工学)
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Notes on use

Note (General):

博士論文

Table of Contents

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 半導体製造施設の微振動問題と本研究の目的

    p2

  • 1.2 ピエゾアクチュエータの概要

    p7

  • 1.3 関連する研究

    p11

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title Transcription
ピエゾアクチュエータ オ モチイタ アクティブ ビシンドウ セイギョ システム ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
梶原浩一 [著]
Author Heading
梶原, 浩一 カジワラ, コウイチ
Degree grantor/type
東京大学
Date Granted
平成9年10月9日
Date Granted (W3CDTF)
1997
Dissertation Number
乙第13553号
Degree Type
博士 (工学)