ピエゾアクチュエータを用いたアクティブ微振動制御システムに関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: ピエゾアクチュエータを用いたアクティブ微振動制御システムに関する研究
• Title Transcription: ピエゾアクチュエータ オ モチイタ アクティブ ビシンドウ セイギョ システム ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 梶原浩一 [著]
• Author Heading: 梶原, 浩一 カジワラ, コウイチ
• Degree Grantor: 東京大学
• Date Granted: 平成9年10月9日
• Date Granted (W3CDTF): 1997
• Dissertation Number: 乙第13553号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-99-V238
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000343680; http://id.ndl.go.jp/bib/000000343680
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

• DOI: 10.11501/3158489; https://doi.org/10.11501/3158489
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3158489; https://dl.ndl.go.jp/pid/3158489
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (Materials For Handicapped People:2): プレーンテキスト
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Producer: 国立国会図書館
• Date Accepted (W3CDTF): 2011-12-06T10:39:03+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Call No.: UT51-99-V238
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

目次

第1章 序論

1.1 半導体製造施設の微振動問題と本研究の目的

1.2 ピエゾアクチュエータの概要

1.3 関連する研究