電流ストレスにより生じるシリコン熱酸化膜劣化現象と劣化機構に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p5
1.1 本研究の背景と目的
p5
1.2 トラップの性質と酸化膜劣化機構に関する研究の現状
p6
1.3 本研究の概要
p12
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- デンリュウ ストレス ニ ヨリ ショウジル シリコン ネツ サンカマク レッカ ゲンショウ ト レッカ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 榊原清彦 [著]
- Author Heading
- 榊原, 清彦 サカキバラ, キヨヒコ
- Extent
- 冊
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成11年9月22日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1999
- Dissertation Number
- 乙第7845号