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博士論文

KrFエキシマレーザの長寿命化技術に関する研究

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KrFエキシマレーザの長寿命化技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-99-Z515
Bibliographic ID of National Diet Library
000000347406
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3162213
Material type
博士論文
Author
南谷靖史 [著]
Publisher
-
Date granted
平成11年3月11日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
熊本大学,博士 (工学)
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景および目的

    p1

  • 1.2 本論文の構成

    p4

  • 第2章 陰極輝点､ストリーマ状放電の放電特性

    p6

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
KrFエキシマレーザの長寿命化技術に関する研究
Title Transcription
KrF エキシマ レーザ ノ チョウジュミョウカ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
南谷靖史 [著]
Author Heading
南谷, 靖史 ミナミタニ, ヤスシ
Extent
冊
Degree Grantor
熊本大学
Date Granted
平成11年3月11日
Date Granted (W3CDTF)
1999
Dissertation Number
乙第70号